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旋片式真空泵在使用中不可避免會出現溫度過高，引起旋片式真空泵內腔超過極限溫度的主要原因是:
①油太少;
②由于泵油被嚴重污染而引起的機械損傷;
③其它的機械損傷;
④機械泵所不能接受的環境溫度。
同樣，超溫也會引起易燃物燃燒范圍擴大，從而形成事故隱患。所以要對真空泵的油標指示進行常規檢查，油標指示裝置內的油面與泵油的油腔是連通的，應注意觀察油標指示，發現油少時及時給予補充。由泵油雜質所引起的機械損傷，實際上可以利用對不同的工藝選用各種合適的泵油及使用適當的過濾系統的方法來避免。