在往復式真空泵中，氣閥是最為重要的部件之一，它對真空泵運轉的可靠性、經濟性有著很大的影響。往復式真空泵目前大多采用環狀閥，由于真空泵的吸、排氣壓力都不大，尤其是吸入氣體絕對壓力很小，氣閥的壓力降是影響極限真空度和功率消耗的一個重要原因。降低吸氣閥的阻力，對于提高真空度和降低功率消耗也具有重要意義。

綜上所述，立式往復真空泵具有結構緊湊、減小運動零部件磨損的優點。采用氣閥軸向布置，改善氣缸的冷卻，減小了壓縮功。合理設計平衡通道和減小余隙容積是提高往復式真空泵真空度的有效措施;減小氣閥的阻力損失對提高真空度和降低功耗十分重要;強化有磨損部件處的潤滑，并采用自潤滑性能好的材料以減少摩擦損失，對延長零件壽命和減少功耗都是有利的。