往復真空泵主要部件為泵缸、活塞、活塞桿、吸入閥和排出閥，見圖1。

吸入閥和排出閥均為單向閥。當活塞自左向右移動時，工作室容積增大，形成低壓，此時排出閥在壓出管內液體的壓力下關閉而吸入閥則被泵外液體推開，從而將貯液池內的液體經吸入管吸入泵缸內。當活塞移到最右端時，工作室容積最大，吸入的液體盆也最多。此后活塞便改為向左移動，由于泵缸內液體受擠壓而使其壓強增大，致使吸入閥關閉而排出閥打開，從而將泵缸內液體排出。活塞往復一次，則吸入和排出液體各一次，因此只要活塞不斷地作往復運動，就可不斷地將液體交替地吸入與排出，達到輸送液體的目的。